| 标准编号 | NF EN 62047-11:2012 (Superseded) |
| 标准名称 | Dispositifs A Semiconducteurs - Dispositifs Microelectromecaniques - Partie 11: Methode D'essai Des Coefficients De Dilatation Thermique Pour Les Materiaux De Mems Autonomes |
| 主编部门 | |
| 标准状态 | |
| 出版社 | |
| 批准文号 | |
| 发布日期 | 2012-05-01 |
| 实施日期 | |
| 废止日期 | |
| 替换信息 | |
| 前言 | |
| 无 |
