| 标准编号 | NF EN 62047-22:2013 (Superseded) |
| 标准名称 | Dispositifs A Semiconducteurs - Dispositifs Microelectromecaniques - Partie 22: Methode D'essai De Traction Electromecanique Pour Les Couches Minces Conductrices Sur Des Substrats Souples |
| 主编部门 | |
| 标准状态 | |
| 出版社 | |
| 批准文号 | |
| 发布日期 | 2013-06-01 |
| 实施日期 | |
| 废止日期 | |
| 替换信息 | |
| 前言 | |
| 无 |
