| 标准编号 | NF EN 62047-12:2011 (Superseded) |
| 标准名称 | Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 12: Bending Fatigue Testing Method Of Thin Film Materials Using Resonant Vibration Of Mems Structures |
| 主编部门 | |
| 标准状态 | |
| 出版社 | |
| 批准文号 | |
| 发布日期 | 2011-05-01 |
| 实施日期 | |
| 废止日期 | |
| 替换信息 | |
| 前言 | |
| 无 |
