标准编号GB/T 32814-2016
标准名称硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范
主编部门
标准状态
出版社
批准文号
发布日期2016-08-29
实施日期2017-03-01
废止日期
替换信息
前言
pdf无