标准编号GB/T14847-1993
标准名称重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
主编部门
标准状态
出版社
批准文号
发布日期1993-12-24
实施日期1994-09-01
废止日期2011-10-01
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