| 标准编号 | ASTM F1620-96 (Withdrawn) |
| 标准名称 | Standard Practice for Calibrating a Scanning Surface Inspection System Using Monodisperse Polystyrene Latex Spheres Deposited on Polished or Epitaxial Wafer Surfaces |
| 主编部门 | |
| 标准状态 | |
| 出版社 | |
| 批准文号 | |
| 发布日期 | 1996-01-01 |
| 实施日期 | |
| 废止日期 | |
| 替换信息 | |
| 前言 | |
| 无 |
