| 标准编号 | NF EN 62047-11:2014 |
| 标准名称 | Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 11: Test Method For Coefficients Of Linear Thermal Expansion Of Free-Standing Materials For Micro-Electromechanical Systems |
| 主编部门 | |
| 标准状态 | |
| 出版社 | |
| 批准文号 | |
| 发布日期 | 2014-03-01 |
| 实施日期 | |
| 废止日期 | |
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| 前言 | |
| 无 |
